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超净室具备的特点

超净室是一种严格要求卫生环境的房间,主要用于光学器件制做,超净室内可以进行涂胶、光刻、蒸发镀膜及键合,清洗、烘干、电镀、腐蚀、扩散及研磨等。 (1) 在洁净区与非洁净区隔离口设有“TJ —1”型单人定时冷热风淋室,它是工作人员进入超净室的净化关口。 (2) 在非洁净区设有更衣室,操作人员更换防静电洁净服后才可进入超净室。 (3) 设有室内对外器件、物品传递窗。 (4) 室内面积达24m2 ,其工作洁净度达1000 级,在局部2m2 的光刻工艺区、净化工作台以及净化涂胶机,工作洁净度达100 级。 (5) 室内用于显影及清洗器件的高纯水,是由设在室外的洁净水循环系统引入,该系统以去离子水为原水,经精密过滤、紫外线杀菌及离子交换,极大提高了水质纯度,其输出水质电阻率≥15MΩ。 (6) 在工作人员健康保障方面,超净室设有空调、净化排风系统。涂胶台及电镀腐蚀工作台设置了独立的对外排风系统,从而也降低了环境污染。空调系统保障了室内湿度≤60 % ,工作温度保持18 ℃—25 ℃。室内循环净化送风系统以及光刻工作区层流罩循环净化系统为室内洁净度提供了保障。